发明名称 高压元件结构
摘要 一种高压元件结构,其包含一高压元件设于一具有主动区域与隔离区域之半导体基底中且位于该主动区域内。该高压元件具有一第一导电型之源极扩散区、一第一导电型之汲极扩散区、以及一较该源极扩散区与汲极扩散区长之导体闸极,且该导体闸极在源极扩散区与汲极扩散区两侧形成两突出区域。该隔离区域位于该主动区域之外围,且包围该主动区域。于该隔离区域中设有第二导电型之隔离离子布植区以及一第二导电型之延长离子布植区设于该突出区域下方,以防止该汲极扩散区与该源极扩散区间产生寄生电流(parasitical current)。
申请公布号 TWI255495 申请公布日期 2006.05.21
申请号 TW094122556 申请日期 2005.07.04
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 陈立哲;林志宏;陈辉煌;刘纪纬;刘景宏;董明宗;林建民;陈荣庆
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人 许锺迪 台北县永和市福和路389号5楼
主权项 1.一种高压元件结构,该高压元件系设于一具有主 动区域与隔离区域之半导体基底中且位于该主动 区域内,该高压元件结构包含有: 一第一导电型之第一离子布植区及一第一导电型 之第二离子布植区设于该基底之主动区域中; 一源极扩散区及一汲极扩散区分别设于该第一离 子布植区与该第二离子布植区中; 一通道扩散区,设于该基底中之该第一离子布植区 与该第二离子布植区之间,并连接该两离子布植区 ; 一导体闸极,设于该源极扩散区与该汲极扩散区之 间并位于该通道扩散区上方,且该导体闸极较该源 极扩散区及该汲极扩散区长,以于其两侧分别形成 二突出区域; 一第二导电型之隔离离子布植区,设于该隔离区域 中;以及 一第二导电型之延长离子布植区,设于该导体闸极 之突出区域下方。 2.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该延长离子布植区与该通道扩散区分离。 3.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该延长离子布植区与该通道扩散区接触。 4.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该延长离子布植区覆盖部分之该通道扩散区。 5.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该隔离区域系位于该主动区域之外围,且环绕该主 动区域。 6.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该高压元件系为一高压金氧半导体元件。 7.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该第一导电型系具有N型掺杂者,该第二导电型系 具有P型掺杂者。 8.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该第一导电型系具有P型掺杂者,该第二导电型系 具有N型掺杂者。 9.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其中 该高压元件结构另包含至少一接触插塞位于该源 极扩散区上方,以及至少一接触插塞位于该汲极扩 散区上方。 10.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其 中该高压元件结构另包含至少一接触插塞位于该 隔离离子布植区上方。 11.如申请专利范围第1项所述之高压元件结构,其 中该隔离离子布植区系为一防护圈(guard ring)。 图式简单说明: 第1图为一习知高压N型金氧半导体结构之上视图 。 第2图为根据本发明之一具体实施例的高压元件结 构之上视图。 第3图为根据本发明之一具体实施例的双扩散汲极 高压元件结构之上视图。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号