| 主权项 |
1.一种气体混合装置,其包括 一第一气体混合腔; 一与第一气体混合腔相连通之第二气体混合腔,该 第二气体混合腔为细长之曲状腔体。 2.如申请专利范围第1项所述之气体混合装置,其中 该气体混合装置进一步包括复数气体源,其通过复 数导气管与第一气体混合腔一端相连接。 3.如申请专利范围第2项所述之气体混合装置,其中 该气体混合装置进一步包括复数气体流量计,该任 一气体流量计串联于一气体源及第一气体混合腔 之间。 4.如申请专利范围第3项所述之气体混合装置,其中 气体流量计包括气体质量流量计或气体体积流量 计。 5.如申请专利范围第2项所述之气体混合装置,其中 该气体混合装置进一步包括复数个阀门,该任一阀 门串联于一气体源与一气体流量计之间,分别控制 气体源之开放与关合。 6.如申请专利范围第1项所述之气体混合装置,其中 第一气体混合腔为U型腔或方形腔。 7.如申请专利范围第1项所述之气体混合装置,其中 第二气体混合腔为螺旋状腔体。 图式简单说明: 第一图系习知技术一种化学气相沈积法制备奈米 碳管之制备装置示意图。 第二图系本发明第一实施例所提供之气体混合装 置示意图。 第三图系本发明第二实施例所提供之气体混合装 置示意图。 |
