多晶硅还原铸锭联合生产装置

摘要

多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上、下壳体、混合气进、出气管、电极、U型发热体、坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是该多晶硅还原铸锭联合生产装置可一次完成多晶硅还原和多晶硅铸锭两道工序，混合气进气管分为数个喷口均匀设置在上壳体顶部，每对电极均匀的设置在上壳体顶部，U型发热体连接在电极上，热交换台连接在驱动丝杠上，驱动丝杠由伺服电机驱动，坩埚放置在热交换台上，电加热器环绕坩埚设置，隔热材料环绕电加热器设置，生产装置下壳体由驱动丝杠连接，驱动丝杠由伺服电机驱动。

主权项

多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上壳体、含夹套冷却水的生产装置下壳体、混合气进气管、电极、U型发热体、混合气尾气出气管，坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，其特征是混合气进气管喷口均匀设置在顶盘上壳体顶部。