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发明名称
摘要
申请公布号	JP4878202(B2)	申请公布日期	2012.02.15
申请号	JP20060122436	申请日期	2006.04.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/31;C23C16/44	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
主权项
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