| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG PORÖSER MIKROSTRUKTUREN,NACH DIESEM VERFAHREN HERGESTELLTE PORÖSE MIKROSTRUKTUREN SOWIE DEREN VERWENDUNG |
| 摘要 |
<p>A method for manufacturing porous microstructures in a silicon semiconductor substrate, porous microstructures manufactured according to this method, and the use thereof.</p> |
| 申请公布号 |
AT541561(T) |
申请公布日期 |
2012.02.15 |
| 申请号 |
AT20080869947T |
申请日期 |
2008.11.19 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
SCHOLTEN, DICK;PIRK, TJALF;STUMBER, MICHAEL;LAERMER, FRANZ;REICHENBACH, RALF;FEYH, ANDO |
| 分类号 |
A61K9/00;A61M31/00;A61M37/00 |
主分类号 |
A61K9/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
