四氟化硅的制备方法

摘要

本发明提供了一种四氟化硅的制备方法，包括以下步骤：液态氟化氢与Si源在浓硫酸的作用下反应，得到四氟化硅。本发明以液态氟化氢为原料，减少了原料中水的含量，降低了水分对生成的四氟化硅的影响，从而提高了四氟化硅的纯度。另外，与氟化氢气体相比，液态氟化氢为原料能够减少氟化氢损耗，减少生成的四氟化硅中氟化氢杂质的含量，提高四氟化硅的纯度。进一步的，本发明首先将Si源与浓硫酸混合均匀，再向其中加入液态氟化氢进行反应，能够减少氟化氢挥发，提高氟化氢的利用率，提高得到的四氟化硅的纯度。实验表明，采用本发明提供的方法制备得到的四氟化硅的纯度为96wt％以上。

主权项

一种四氟化硅的制备方法，包括以下步骤：a)液态氟化氢与Si源在浓硫酸的作用下反应，得到四氟化硅。