一种无热阵列波导光栅波分复用器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种无热阵列波导光栅波分复用器及其制造方法，该无热阵列波导光栅波分复用器，包括有温度补偿杆、基片、阵列波导光栅芯片，所述温度补偿杆上间隔设置有两个粘接区，第一粘接区上固定有第一基片，第二粘接区上固定有第二基片，固定后的第一基片和第二基片的相近边缘之间存有间隙；所述的阵列波导光栅芯片由分割而成且具有相同分割切断面的第一芯片和第二芯片所构成，第一芯片包含有输入波导和部分输入平板波导，第二芯片包含有阵列波导光栅芯片的其它部分；第一芯片对应地固定在第一基片上，第二芯片对应地固定在第二基片上；第二芯片上的输入平板波导的上表面和第二基片的上表面或者第二芯片上的输出平板波导上表面设置有固定片。本发明采用的温度补偿装置不易发生弹性形变，不易受外力作用导致AWG指标发生变化。

主权项

一种无热阵列波导光栅波分复用器，包括有温度补偿杆、基片、阵列波导光栅芯片，其特征在于：所述温度补偿杆上间隔设置有两个粘接区，第一粘接区上固定有第一基片，第二粘接区上固定有第二基片，固定后的第一基片和第二基片的相近边缘之间存有间隙；所述的阵列波导光栅芯片由分割而成且具有相同分割切断面的第一芯片和第二芯片所构成，第一芯片包含有输入波导和部分输入平板波导，第二芯片包含有阵列波导光栅芯片的其它部分；第一芯片对应地固定在第一基片上，第二芯片对应地固定在第二基片上。