包括具有复合载体的洛仑兹致动器的光刻设备

摘要

本发明公开了一种具有复合载体的洛仑兹致动器以及具有该致动器的光刻设备，该致动器被构成为在第一和第二部分之间产生偏移力，以相对彼此偏移第一和第二部分。该致动器包括：第一磁体子组件，其连接到第一和第二部分之中的一个；和导电元件，其连接到第一和第二部分中的另一个，且被设置在第一磁体子组件附近。该第一磁体子组件包括：至少一组的至少两个相邻设置的磁体，其被取向成使得其磁性极化基本上彼此相反；和由磁通量引导材料制成且连接磁体的背块，以引导其间的磁通量。该第一磁体子组件包括由非磁通量引导材料制成，该载体包括其中嵌入至少一组背块和磁体的至少一个凹槽。

主权项

一种光刻设备，包括：照射系统，被构成为调整辐射束；支撑件，被构造为支撑图案形成装置，该图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面中赋予辐射束以形成图案化的辐射束；衬底台，被构造为保持衬底；投影系统，被构成为将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上；致动器，被构造且设置成在第一和第二部分之间产生偏移力，以相对彼此设置第一和第二部分，该致动器包括：第一磁体子组件，其连接到第一和第二部分中的一个，且被构成为在基本垂直于偏移力的方向上提供磁场；和导电元件，其连接到第一和第二部分中的另一个且被设置在第一磁体子组件附近，且被构成为通过由导电元件携带的电流与磁场的相互作用产生偏移力，第一磁体子组件包括至少一组的至少两个相邻设置的磁体和背块，所述磁体被取向为使得它们的磁体极化基本彼此相反，所述背块由磁体通量引导材料制成且连接磁体以引导其间的磁通量，其中第一磁体子组件包括由非磁通量引导材料制成的载体，该载体包括其中嵌入了至少一组背块和磁体的至少一个凹槽，所述载体与嵌入到其中的背块和磁体一起形成刚性的结构，其中载体包括其中设置了所述至少一个凹槽的板。