在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法

摘要

在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，步骤：a）清洗PET柔性衬底；b）将衬底冲洗、烘干，装入溅射室；c）装靶；d）靶基距为52mm；溅射功率为60W；溅射压强为5Pa；流量为30SCCM；e）溅射5min，停5min；f）溅射20min，在PET柔性衬底上形成了掺钛氧化锌透明导电薄膜。本发明的优点是：掺钛氧化锌的最佳成膜温度很低（100ºC左右），而且先在衬底上沉积一同质缓冲层，提高了衬底的阻隔性，故有利于导电薄膜的成核与长大；衬底经丙酮溶液超声清洗、无水乙醇浸泡、去离子冲洗，提高其黏附性。故由此方法制备出的透明导电薄膜，其电阻率低，既具优良的导电性能，又具良好的透光性。

主权项

在PET柔性衬底上制备掺钛氧化锌透明导电薄膜的方法，使用高真空磁控溅射仪，用室温循环水对其冷却降温，用高纯氩气作为溅射气体，其特征在于：包括如下步骤：a）取PET柔性衬底，置于50～70 ºC的丙酮溶液中，超声清洗15～25min；b）将上述PET柔性衬底，用高纯去离子水反复冲洗、烘干，放入溅射室；c）安装TZO陶瓷靶材，其成分为TiO2：ZnO = 1.6～2.6：97.4～98.4；d）调整靶基距为50～60mm；溅射功率为50～65W；溅射压强在4～6Pa；流量25～35SCCM；e）开机溅射4～6min，在PET柔性衬底上形成一柔性TZO薄膜的同质缓冲层；停机4～6min；f）再开机溅射16～24min，在PET柔性衬底上形成了掺钛氧化锌透明导电薄膜。