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经营范围
发明名称
Measuring method and device for a plasma supply device
摘要
申请公布号
EP2202776(B1)
申请公布日期
2012.02.15
申请号
EP20080022374
申请日期
2008.12.23
申请人
HUETTINGER ELEKTRONIK GMBH + CO. KG
发明人
THOME, CHRISTIAN;MANN, EKKEHARD;GLUECK, MICHAEL;WINDISCH, HANS-JUERGEN
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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