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经营范围
发明名称
Sputtering target
摘要
申请公布号
EP2264211(B1)
申请公布日期
2012.02.15
申请号
EP20100182013
申请日期
2002.07.08
申请人
IDEMITSU KOSAN CO., LTD.
发明人
INOUE, KAZUYOSHI;MATSUZAKI, SHIGEO
分类号
C23C14/08;C23C14/34;H01B5/14;H01L31/18
主分类号
C23C14/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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