发明名称 Sputtering target
摘要
申请公布号 EP2264211(B1) 申请公布日期 2012.02.15
申请号 EP20100182013 申请日期 2002.07.08
申请人 IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 INOUE, KAZUYOSHI;MATSUZAKI, SHIGEO
分类号 C23C14/08;C23C14/34;H01B5/14;H01L31/18 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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