| 发明名称 | 带电粒子束PVD装置、遮蔽装置、用于涂布衬底的涂布腔室及涂布方法 | ||
| 摘要 | 提供一种带电粒子束PVD装置，所述装置包含：在壳体(261)内部的涂布材料靶(262)，设置在该壳体中的气孔(263)，以及与该气孔相邻设置的遮蔽装置(266，268；2680)，该遮蔽装置处于浮动电位。 | ||
| 申请公布号 | CN102356178A | 申请公布日期 | 2012.02.15 |
| 申请号 | CN201080012706.X | 申请日期 | 2010.01.11 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | J·科雷姆佩尔-赫斯;J·格里尔梅耶;U·赫曼斯 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆勍;钱孟清 |
| 主权项 | 一种带电粒子束PVD装置，包含：在壳体(261)内部的涂布材料靶(262)，设置在该壳体中的气孔(263)，以及与该气孔相邻设置的遮蔽装置(266，268；2680)，该遮蔽装置处于浮动电位，其中该遮蔽装置经由绝缘连接器(270)安装至该壳体，该绝缘连接器(270)具有自遮蔽结构。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||