发明名称 工件收纳搬送装置和具有该工件收纳搬送装置的切削装置
摘要 本发明提供一种工件收纳搬送装置和具有该工件收纳搬送装置的切削装置,该工件收纳搬送装置能够可靠地防止半导体晶片等工件从检查用工件收纳部凸出。该工件收纳搬送装置包括:收纳多个工件的第一工件收纳部;和配设在第一工件收纳部的下部的第二工件收纳部。第二工件收纳部包括:框体,其具有开设于工件搬送构件侧的第一搬入口和开设于操作员侧的第二搬入口;和工件载置台,其可从第二搬入口滑动拉出。工件载置台通过拉出滑动轨道与框体连接,在工件载置台的底部设置有被向上方施力的框架定位销,当工件载置台在框体内被拉入到预定位置时,框架定位销与固定于框体底部的引导块卡合,使得框架定位销被下拉至预定位置。
申请公布号 CN101419928B 申请公布日期 2012.02.15
申请号 CN200810170618.7 申请日期 2008.10.22
申请人 株式会社迪思科 发明人 奥鸣研悟;野村优树
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L21/301(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 陈坚
主权项 一种工件收纳搬送装置,其特征在于,该工件收纳搬送装置包括:第一工件收纳部,其收纳多个工件;第二工件收纳部,其配设在上述第一工件收纳部的下部;升降构件,其使上述第一工件收纳部和上述第二工件收纳部同时升降;以及工件搬送构件,其相对于上述第一工件收纳部或者上述第二工件收纳部水平地搬送工件,上述第二工件收纳部包括:框体,其具有开设于上述工件搬送构件侧的第一搬入口和开设于操作员侧的第二搬入口;工件载置台,其能够从该第二搬入口滑动拉出;两根平行的拉出滑动轨道,它们各自的一端固定于上述工件载置台,而另一端固定于上述框体;至少一个框架定位销,其以能够上下活动的方式贯穿上述工件载置台的底部,并通过活动配合的弹簧而被向上方施力;以及引导构件,其配设在上述框体的底部,该引导部件能够与上述框架定位销卡合而将该框架定位销下拉,当上述工件载置台在上述框体内部被拉入到或超过一定位置时,上述引导构件与上述框架定位销卡合,从而将该框架定位销下拉至预定位置。
地址 日本东京
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