发明名称 SILICON CARBIDE SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20120014024(A) 申请公布日期 2012.02.15
申请号 KR20117028915 申请日期 2010.04.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HARADA SHIN;SASAKI MAKOTO;NISHIGUCHI TARO;NAMIKAWA YASUO;FUJIWARA SHINSUKE
分类号 H01L21/02;C30B29/36;H01L21/20;H01L21/336 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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