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发明名称
Support structure
摘要
申请公布号
EP1536456(B1)
申请公布日期
2012.02.15
申请号
EP20040027994
申请日期
2004.11.25
申请人
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人
KEMPF, STEFAN;MERZ, THOMAS
分类号
H01L21/00;B65G49/06;C23C14/50;H01L21/683
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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