阻气型透明塑料基板、其制造方法和使用其的柔性显示元件

摘要

本发明的目的是提供一种表面光滑度优于现有基板，且具有高透明度和高阻气特性的透明塑料基板，还提供使用该基板的柔性显示元件。为此目的，得到阻气透明塑料基板，使得在塑料膜基材的至少一个表面上形成的透明氧化膜作为阻气层，其中透明氧化膜包括氧化锡无定形膜或含有至少一种添加元素的氧化锡无定形膜，所述添加元素选自由硅、锗、铝、铈和铟组成的组，且添加元素的比例为添加元素和锡的总量的0.2-45原子％。可形成双层的阻气透明塑料基板，其中在透明氧化物膜上形成氧化硅膜或氮氧化硅膜。当在其上进一步形成透明电极膜时，可得到柔性显示元件。

主权项

一种阻气透明塑料基板，其包括塑料膜基材和在该塑料膜基材的至少一个表面上形成的阻气层，所述阻气层具有氧化锡型无定形透明氧化膜，其中，所述氧化锡型无定形透明氧化物膜包括含有至少一种添加元素的氧化锡，所述元素选自硅、锗、铝、铈和铟组成的组，且所述添加元素的比例为添加元素和锡的总量的0.2‑45原子％，以及所述阻气层表面的中心线平均表面粗糙度Ra为1.5nm以下。