盘形合金钢工件辉光离子氮化装置

摘要

本实用新型为盘形合金钢工件辉光离子氮化装置，该装置不仅实现了盘形工件的离子氮化，同时又解决了因氮化温度不均而产生的变形问题，其核心是保证工件淡化温度整体误差控制在±5℃范围内。它包括位于底座（16）上的真空罩（11）和位于真空罩内的阴极底座（6），阴极底座上的阴极支柱（5）支承盘形工件（4），真空罩（11）构成的阳极与阳极接入口连接，阴极底座（6）与阴极接入口（10）连接，在阴极底座（6）的环周上均布有若干片状辅助阴极（3），若干片状辅助阴极（3）包围盘形工件，或者阴极底座（6）的周边与环形辅助阴极（3）连接，辅助阴极的高度大于阴极支柱（5）的高度与盘形工件（4）的厚度之和。

主权项

盘形合金钢工件辉光离子氮化装置，包括位于底座（16）上的真空罩（11）和位于真空罩内的阴极底座（6），阴极底座上的阴极支柱（5）支承盘形工件（4），真空罩（11）构成的阳极与阳极接入口连接，阴极底座（6）与阴极接入口（10）连接，其特征在于在阴极底座（6）的环周上均布有若干片状辅助阴极（3），若干片状辅助阴极（3）包围盘形工件，其高度大于阴极支柱（5）的高度与盘形工件（4）的厚度之和。