流量限制器

摘要

具有第一盘和第二盘的流量限制器，其中第一盘具有至少一个入口和至少一个出口以及流动路径，第二盘没有流动路径。第一盘和第二盘是叠置在一起的。质量流量控制器包括输入、输出、流动路径、压力传感器以及上述流量限制器。

主权项

一种流量限制器，包括：第一盘，其具有至少一个入口和至少一个出口及连接所述入口和所述出口的流动路径；其中所述流动路径在厚度方向上完全穿过所述第一盘；没有流动路径的第二盘；其中多个所述第一盘和多个所述第二盘交错叠置在一起从而形成层叠结构；所述第一盘和所述第二盘是非烧结的金属；所述流动路径的横截面积由所述第一盘的厚度调节。