数字微镜器件及其形成方法

摘要

一种数字微镜器件及其形成方法，数字微镜器件包括：基底，其上形成有微镜器件控制电路结构；数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链；两个第二极板位于基底上，与微镜器件控制电路结构电连接；两个第一极板位于两个第二极板上方，且分别与两个第二极板相对；铰链位于第二极板上方；反光镜位于第一极板上方，且反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接，反光镜通过第二插栓与铰链电连接，铰链与微镜器件控制电路结构电连接；在第一极板和第二极板之间具有电压差时，反光镜绕铰链偏转。本发明结构简单，可以提高铰链的可靠性。

主权项

一种数字微镜器件，其特征在于，包括：基底，所述基底上形成有微镜器件控制电路结构；位于所述基底上的数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括一个反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链；所述两个第二极板位于所述基底上，与所述微镜器件控制电路结构电连接；所述两个第一极板位于所述两个第二极板上方，且分别与所述两个第二极板相对；所述铰链位于所述第二极板上方、且其在两个第一极板平面上的投影位于两个第一极板之间；所述反光镜位于所述两个第一极板上方，且所述反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接，所述反光镜通过第二插栓与所述铰链电连接，所述铰链与所述微镜器件控制电路结构电连接；在所述第一极板和第二极板之间具有电压差时，所述反光镜绕所述铰链偏转。