贴膜机除屑装置

摘要

本发明提供了一种贴膜机除屑装置，包括：第一电极，其位于贴膜机的旋转真空吸桶内；第二电极，其位于贴膜机的切割刀片的导轨上，其极性与第一电极极性相反；直流电源，其用于给第一电极和第二电极供电。本发明通过形成正、负电极，采用静电吸引的方法，使切割后产生的细屑被吸附在电极上，从而不会附着在基板上而在贴膜时被压在膜下，克服了现有技术中障蔽用DFR膜由于材料性质的不同，切割后飞溅的细屑会落在基板上，而后被压在DFR膜下，细屑处在曝光后形成较大缺陷的问题。

主权项

一种贴膜机除屑装置，其特征在于，包括：第一电极，其位于所述贴膜机的旋转真空吸桶内；第二电极，其位于所述贴膜机的切割刀片的导轨上，其极性与所述第一电极相反；以及电源，其用于给所述第一电极和所述第二电极供电。