二自由度平动并联解耦微动平台

摘要

一种微机电系统技术领域的二自由度平动并联解耦微动平台，包括：压电陶瓷驱动器、两个驱动支链及其对应的辅助支链、工作平台以及固定机架，其中：两个驱动支链及其对应的辅助支链分别两两对称分布在工作平台的X方向和Y方向。本发明依靠复合双平行直板铰链的解耦功能、刚度特性以及平台整体结构的对称性，从而达到消除耦合和寄生位移的功能，实现运动平台的二维运动。

主权项

一种二自由度平动并联解耦微动平台，包括：压电陶瓷驱动器、工作平台以及固定机架，其特征在于，还包括：两个驱动支链及其对应的辅助支链，其中：两个驱动支链及其对应的辅助支链分别两两对称分布在工作平台的X方向和Y方向；所述的驱动支链包括：输入解耦平台、驱动支链中间平台、一级驱动铰链中间平台、二级驱动铰链中间平台和柔性铰链，其中：输入解耦平台与驱动支链中间平台通过柔性铰链活动连接，一级驱动铰链中间平台分别与驱动支链中间平台和固定机架通过柔性铰链活动连接，二级驱动铰链中间平台分别与工作平台和驱动支链中间平台通过柔性铰链活动连接。