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发明名称 SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS AND TEMPERATURE-REGULATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100822076(B1) 申请公布日期 2008.04.14
申请号 KR20057016691 申请日期 2005.09.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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