| 摘要 |
一种机台监控系统，其包括一第一晶圆载具、一第二晶圆载具、一第一处理机台、一第一检测机台、一第二检测机台。上述第一晶圆载具系用以承载用以进行第一检测程序之一第一晶圆控片。该第二晶圆载具系用以承载用以进行第二检测程序之一第二晶圆控片。该第一处理机台接收该第一晶圆载具并处理该第一晶圆控片，并接收该第二晶圆载具，及处理该第二晶圆控片。该第一检测机台系从该第一处理机台接收该第一晶圆载具，并对被该第一处理机台处理过的该第一晶圆控片执行该第一检测程序。该第二检测机台系从该第一处理机台接收该第二晶圆载具，并对被该第一处理机台处理过的该第二晶圆控片执行该第二检测程序。 |
