制造基板之装置

摘要

本发明揭示一种制造基板之装置，其包括：一沿一长方向延伸之转移腔室；沿该长方向连接至该转移腔室之至少一个处理腔室；在该转移腔室的至少一侧连接至该转移腔室之至少一个加载互锁真空室(load－lock chamber)；及一转移腔室自动控制装置，其在该转移腔室中沿该长方向移动并转移一基板。