基材内之形貌体及其形成方法

摘要

所揭实施例系有关设在基材内的形貌体，以及其制造方法。一实施例可为一种微装置，其包含一基材延伸于一第一基材表面与一相反的第二基材表面之间，及至少一形貌体会沿一孔轴设入第一表面中，而该孔轴系不垂交于该第一表面。