气体分散屏蔽及方法

摘要

一种气体分散屏蔽及方法，系用于在将一来自一气体插入通道之气体以一非垂直角度注入一气体沈积室，以保护该室之底面者。该气体分散屏蔽包括一圆柱形垂直侧壁、一由该侧壁上端水平且向外延伸之环状凸缘、及一由该侧壁下端向内延伸之水平壁。该凸缘包括一顶面、一底面、及多数穿过该凸缘而形成之孔，且各孔朝一非垂直方向由该底面延伸至该顶面。该底面包括一至少部份嵌入该气体插入通道中之环状凸起，以确使气体流经该等非垂直孔而非逸出在该凸缘四周。