| 摘要 |
<p>Mikroskopische Einrichtung zur Abbildung einer Probensubstanz (1), umfassend: - ein mikroskopisches Abbildungssystem, und - Mittel zur automatischen Verschiebung der Fokusebene entlang der optischen Achse (4) des Abbildungssystems in eine Z-Position, in der sich die abzubildende Probensubstanz (1) befindet, gekennzeichnet durch - einen von einem Interferometer ausgehenden Probenstrahl (10), der in Z-Richtung durch die Probensubstanz (1) hindurch gerichtet ist, wobei die durch Interferenz des von optisch wirksamen Grenzflächen und/oder Strukturen reflektierten oder rückgestreuten Lichtes des Probenstrahles (10) mit dem Referenzstrahl des Interferometers entstehenden Interferenzsignale zur Bestimmung der Z-Positionen der Grenzflächen und/oder Strukturen der Probe vorgesehen sind, - eine Auswerteeinrichtung zur Bestimmung der Z-Position der Probensubstanz (1), - eine Verstelleinrichtung, ausgebildet zur Verschiebung der Fokusebene und der Probensubstanz (1) relativ zueinander, bis sich die Probensubstanz (1) der Fokusebene befindet, und - eine mit der Auswerteeinrichtung und der Verstelleinrichtung verbundene Ansteuereinheit zum Generieren von Stellbefehlen zur automatischen Verschiebung der Fokusebene in die bestimmte Z-Position.</p> |
