摘要 |
Das Lecksuchgerät weist einen Prüfeinlass (10) auf, an den eine den Prüfling enthaltende Testkammer angeschlossen werden kann. Eine Hochvakuumpumpe (12) erzeugt in einem Testgasdetektor (11) ein Hochvakuum. Eine Vorvakuumpumpe (20) enthält zwei Pumpstufen (22, 23). Zum Evakuieren der Testkammer werden die Pumpstufen (22, 23) im Parallelbetrieb betrieben, wobei sich ihre Saugvermögen addieren. Nach Erreichen des erforderlichen Vakuums werden die Pumpstufen (22, 23) in Serie betrieben, um am Testgasdetektor (11) das erforderliche Hochvakuum zu erzeugen, das für eine hohe Nachweisempfindlichkeit erforderlich ist.
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