发明名称 Lecksuchgerät
摘要 Das Lecksuchgerät weist einen Prüfeinlass (10) auf, an den eine den Prüfling enthaltende Testkammer angeschlossen werden kann. Eine Hochvakuumpumpe (12) erzeugt in einem Testgasdetektor (11) ein Hochvakuum. Eine Vorvakuumpumpe (20) enthält zwei Pumpstufen (22, 23). Zum Evakuieren der Testkammer werden die Pumpstufen (22, 23) im Parallelbetrieb betrieben, wobei sich ihre Saugvermögen addieren. Nach Erreichen des erforderlichen Vakuums werden die Pumpstufen (22, 23) in Serie betrieben, um am Testgasdetektor (11) das erforderliche Hochvakuum zu erzeugen, das für eine hohe Nachweisempfindlichkeit erforderlich ist.
申请公布号 DE102010033373(A1) 申请公布日期 2012.02.09
申请号 DE20101033373 申请日期 2010.08.04
申请人 INFICON GMBH 发明人 DOEBLER, ULRICH
分类号 G01M3/26;F04D19/04;G01M3/20 主分类号 G01M3/26
代理机构 代理人
主权项
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