Drucksensor, bei welchem ein Harzhaftmittel zwischen einem Halbleiter-Sensorelement und einem Metallschaft verwendet wird

摘要

In einem Drucksensor (S1), welcher durch Bonden eines Halbleiterchips (10) und eines Metallschafts (20) mit einem Harzhaftmittel (40) hergestellt wird, wird eine Schwankung des Sensorausgangs hervorgerufen durch Temperaturänderungen maximal verringert. Das Harzhaftmittel (40) zum Bonden des Sensorelements (10) und des Metallschafts (20) besitzt eine Kriechcharakteristik, welche durch den Ausdruck CR = A × &sgr;B mit der Kriechrate CR, der Spannung &sgr; und den Konstanten A und B definiert ist. Das Harzhaftmittel (40) wird derart gewählt, daß der Wert der Konstanten B nicht größer als 3,5 ist.