发明名称 |
硅凹槽光刻工艺及其适用的光掩膜 |
摘要 |
本发明提供了一种硅凹槽光刻工艺,按顺序包括以下步骤:多晶硅栅的形成;薄膜介电层沉积;光刻胶的形成;在PMOS部分形成硅凹槽:图案化所述光刻胶,保留所述PMOS部分多晶硅栅端位置的光刻胶,然后以图案化的所述光刻胶为掩膜,将所述多晶硅栅两侧的薄膜介电层刻蚀掉,并在硅衬底上刻蚀出硅凹槽;光刻胶的去除;异质结外延生长。本发明的硅凹槽光刻工艺通过将PMOS部分中多晶硅栅端位置上方的光刻胶予以保留,使其对多晶硅栅外层的薄膜介电层予以保护,避免被过刻蚀和暴露多晶硅栅,进而避免了在进行锗化硅外延生长时,在上述的多晶硅栅端位置外延生长锗化硅。 |
申请公布号 |
CN102347279A |
申请公布日期 |
2012.02.08 |
申请号 |
CN201010245390.0 |
申请日期 |
2010.07.26 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
胡华勇;张士健;韩秋华;何有丰 |
分类号 |
H01L21/8238(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;G03F1/76(2012.01)I |
主分类号 |
H01L21/8238(2006.01)I |
代理机构 |
北京德琦知识产权代理有限公司 11018 |
代理人 |
牛峥;王丽琴 |
主权项 |
一种硅凹槽光刻工艺,其特征在于,按顺序包括以下步骤:多晶硅栅的形成:在硅衬底上形成多个长条形状的多晶硅栅,所述硅衬底包括PMOS部分;薄膜介电层沉积:沉积一层薄膜介电层以保护所述多晶硅栅;光刻胶的形成:在硅衬底上形成一层光刻胶;在所述PMOS部分形成硅凹槽:图案化所述光刻胶,保留所述PMOS部分多晶硅栅端位置的光刻胶,然后以图案化的所述光刻胶为掩膜,将所述多晶硅栅两侧的薄膜介电层刻蚀掉,并在硅衬底上刻蚀出硅凹槽;光刻胶的去除:将图案化的光刻胶清除;异质层外延生长:在多晶硅栅两侧刻蚀出的硅凹槽处外延生长异质层。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |