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发明名称 PREPARATION METHOD OF CERAMIC AND METAL TARGET FOR VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20090046017(A) 申请公布日期 2009.05.11
申请号 KR20070111918 申请日期 2007.11.05
申请人 THE INDUSTRY & ACADEMIC COOPERATION IN CHUNGNAM NATIONAL UNIVERSITY (IAC) 发明人 YOON, SOON GIL;LEE, SOO JIN;AHN, JUN KU;HUR, SUNG GI
分类号 C23C16/34;B22F3/00 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
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