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发明名称 THERMAL SPRAYED YTTRIA-CONTAINING COATING FOR PLASMA REACTOR
摘要
申请公布号 EP1518255(B1) 申请公布日期 2012.02.08
申请号 EP20030737030 申请日期 2003.06.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 O'DONNELL, ROBERT, J.;DAUGHERTY, JOHN, E.
分类号 H01J37/32;H05H1/46;C23C16/44;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
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