正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法

摘要

本发明有关一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是一种涂布均匀性佳、感度高、显影性佳及残膜率高的流延涂布方式用正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。该组成物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物(B)以及溶剂(C)。其中，该酚醛清漆树脂(A)以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布，将分子量介于200～120，000的树脂讯号作积分，以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线，分子量介于1，000～3，000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)5～45重量％，分子量30，000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)10重量％以下。

主权项

一种流延涂布方式用正型感光性树脂组成物，包含：酚醛清漆树脂(A)；邻萘醌二迭氮磺酸类的酯化物(B)；以及溶剂(C)；其中，该酚醛清漆树脂(A)以凝胶渗透色层分析法测得的分子量分布，将分子量介于200～120,000的树脂讯号作积分，以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线，该酚醛清漆树脂(A)中，分子量介于1,000～3,000的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)5～45％，分子量30,000以上的酚醛清漆树脂占该酚醛清漆树脂(A)10％以下。