一种提高离子注入机引出束流稳定性和重复性的方法

摘要

本发明公开了一种提高离子注入机引出束流稳定性和重复性的方法，该方法包括起弧、优化、闭环调节等三个部分。本发明最大特点是能够在离子源灯丝、弧室及其它离子源部件状态发生缓慢变化的同时保持起弧状态稳定、保证多次起弧状态重复，从而有效提高引出束流的稳定性和重复性。

主权项

一种提高离子注入机引出束流稳定性和重复性的方法，包括起弧、优化、闭环调节等三个部分，其特征在于：自动寻找最优灯丝电源电流，保证离子源稳定工作；在保持灯丝电源电流不变的前提下，通过闭环调节偏压电源电流获得稳定的引出束流。