一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构

摘要

本发明公开了一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：一个射频电源，一个气体源，一个加长的放电起弧室，一个引出电极，一个引出电源和一个溢流枪控制器；各个要件间相互关联或连接组成无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构。本发明有别于传统的采用钨灯丝的等离子体溢流枪，采用射频能量作为激励源，消除了注入工艺中由此产生的钨金属污染和钨灯丝断裂的风险；本发明在控制器的精心控制下选用低能电子作为中和电荷，并在离子束宽度范围溢出电子，使离子束的正电荷得到充分中和，也避免了剩余电子的“反充电”效应，使注入工艺中由电荷聚集导致的器件损坏率成数倍地降低。

主权项

一种无灯丝等离子体溢流枪电荷中和体系结构，其特征在于：一个射频电源，一个气体源，一个加长的放电起弧室，一个引出电极，一个引出电源和一个溢流枪控制器组成了无灯丝等离子体溢流枪的体系结构。