一种上排气热场式直拉硅单晶炉石墨热场系统

摘要

本实用新型公开了一种上排气热场式直拉硅单晶炉石墨热场系统，包括布设在单晶炉主炉室内的主保温筒、位于主保温筒内侧中部的石英坩埚、套装在石英坩埚外侧的石墨坩埚、安装在石墨坩埚底部的锅托、安装在锅托正下方的托杆、布设在石英坩埚下方且对石英坩埚进行加热的加热器及石墨电极和布设在石英坩埚正上方的导流筒，主保温筒的上下部分别设置有上保温筒和下保温筒；下保温筒为侧壁密封的保温筒，且上保温筒的侧壁上开有上排气孔。本实用新型设计合理、投入成本低、能耗低且实现方便、使用操作简便、使用效果好，在大幅延长热场系统使用寿命、降低生产成本的同时，也能提高单晶硅的生产效率。

主权项

一种上排气热场式直拉硅单晶炉石墨热场系统，其特征在于：包括布设在单晶炉主炉室内的主保温筒(1)、位于主保温筒(1)内侧中部的石英坩埚(2)、套装在石英坩埚(2)外侧的石墨坩埚(29)、安装在石墨坩埚(29)底部的锅托(3)、安装在锅托(3)正下方的托杆(4)、布设在石墨坩埚(29)下方的加热器(5)、与加热器(5)进行电连接的石墨电极(6)和布设在石英坩埚(2)正上方且口径由上至下逐渐缩小的导流筒，所述导流筒包括外导流筒(7)和套装在外导流筒(7)内的内导流筒(8)，所述主保温筒(1)的上部设置有上保温筒(9)且其下部设置有下保温筒(10)；所述石墨电极(6)布设在下保温筒(10)内，所述外导流筒(7)和内导流筒(8)均布设在上保温筒(9)内，下保温筒(10)为侧壁密封的保温筒，且所述上保温筒(9)的侧壁上开有上排气孔(11)。