垂直式探针卡的探针头及其复合板的制作方法

摘要

本发明公开了一种垂直式探针卡的探针头及其复合板的制作方法，包括一导板、一复合板与至少一探针。其中，复合板是由一第一层板与一第二层板经固接作业而为层迭，后经钻孔作业而制得具有多个贯穿第一层板与第二层板的穿孔，复合板是设置于导板下方，其选用的第一层板的摩擦系数小于第二层板的摩擦系数，且第二层板的热膨胀系数小于第一层板的热膨胀系数，探针则穿设复合板的穿孔。通过此，可减少探针与复合板之间的摩擦，使可获得稳定探针针位的目的。

主权项

一种垂直式探针卡的探针头，其特征在于，包含：一导板；一复合板，设置于该导板下方，且包括有层迭的一第一层板与一第二层板，以及至少一穿孔贯穿该第一层板与该第二层板，其中，第一层板的摩擦系数小于第二层板的摩擦系数，且第二层板的热膨胀系数小于第一层板的热膨胀系数；以及至少一探针，一端为该导板支撑，另一端穿过该复合板的穿孔，该探针的外径并小于该复合板的穿孔孔径。