| 发明名称 | 一种真空蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种真空蒸镀装置，包括：蒸发源；用于移动及承载基板的基板驱动机构，所述基板的表面分成若干个蒸镀子区域；用于移动及承载掩模板的掩模板驱动机构，所述掩模板位于所述基板下方，所述掩模板的图形区尺寸与所述蒸镀子区域尺寸相同；蒸镀挡板，位于所述掩模板下方，能够形成与所述掩模板结构相匹配的蒸镀气体透过区；用于移动及承载所述蒸镀挡板的挡板驱动机构。本实用新型可提高蒸镀薄膜厚度的均匀性、降低掩模板尺寸，从而实现对大尺寸基板的真空蒸镀。 | ||
| 申请公布号 | CN202139291U | 申请公布日期 | 2012.02.08 |
| 申请号 | CN201120238890.1 | 申请日期 | 2011.07.07 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 沐俊应;刘光海 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 黄灿;赵爱军 |
| 主权项 | 一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸发源；用于移动及承载基板的基板驱动机构，所述基板的表面分成若干个蒸镀子区域；用于移动及承载掩模板的掩模板驱动机构，所述掩模板位于所述基板下方，所述掩模板的图形区尺寸与所述蒸镀子区域尺寸相同；蒸镀挡板，位于所述掩模板下方，能够形成与所述掩模板结构相匹配的蒸镀气体透过区；用于移动及承载所述蒸镀挡板的挡板驱动机构。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||