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发明名称 Measuring system to measure ion distribution function in low-temperature plasma and probe for such measuring system d
摘要
申请公布号 CZ23356(U1) 申请公布日期 2012.02.08
申请号 CZ20110025405U 申请日期 2011.12.28
申请人 FYZIKALNI ·STAV AV CR, V.V.I.;ASTAV FYZIKY PLAZMATU AV CR, V. V. I. 发明人 ADAMEK PETR;CADA MARTIN;HUBICKA ZDENEK;JASTRABIK LUBOMIR;ADAMEK JIRI;STOECKEL JAN
分类号 G01N27/62;G01N23/00;G01N30/72;H05H1/00 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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