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发明名称 ILLUMINATING OPTICAL APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 EP2040283(A4) 申请公布日期 2012.02.08
申请号 EP20070768367 申请日期 2007.07.09
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 SHIGEMATSU, KOJI;TANITSU, OSAMU
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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