发明名称 掩蔽材料及使用其的掩蔽方法
摘要 使用包含含有全部分子末端基团的不到50%为水解性硅基的聚合物(I)100重量份和全部分子末端基团的50%以上为水解性硅基的聚合物(II)5~200重量份的湿气固化型树脂组合物的掩蔽材料。由此,即使在被处理物的非涂布区域具有复杂的形状时,也可以防止涂布物附着在非涂布区域,且在涂布处理结束后可以容易地从非涂布区域剥离。
申请公布号 CN102344757A 申请公布日期 2012.02.08
申请号 CN201110211647.5 申请日期 2011.07.27
申请人 夏普化学工业株式会社 发明人 永江弘武
分类号 C09D201/10(2006.01)I;C09D5/20(2006.01)I 主分类号 C09D201/10(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 蔡晓菡;高旭轶
主权项 掩蔽材料,其包含湿气固化型树脂组合物,该湿气固化型树脂组合物含有全部分子末端基团的不到50%为水解性硅基的聚合物(I)100重量份和全部分子末端基团的50%以上是水解性硅基的聚合物(II)5~200重量份。
地址 日本大阪府