测量装置和测量方法

摘要

本发明提供一种测量装置，包括：测量光源(14)，用于向镜平面(11)发射测量光(28)；投射单元(17)，测量光源发射的测量光(28)从镜平面(11)反射时形成的反射光(13)投射在投射单元上作为投射光点；图像拾取单元(18)，用于拾取投射单元(17)的图像，反射光(13)投射在投射单元上作为投射光点；控制单元(31)，用于控制镜平面(11)的倾斜度；提取单元(32)；以及测量单元(33)，用于基于图像拾取单元拾取的投射单元的图像，测量投射光点(50)的移动量，投射光点随着受控制单元(31)控制的镜平面(11)的倾斜度变化而移动。本发明使得能够在短时间内高准确度地测量具有可改变倾斜度的镜平面(11)的镜系统(12)的偏转特性。

主权项

一种测量装置(10)，用于测量具有可改变倾斜度的镜平面(11)的镜系统(12)的偏转特性，所述测量装置(10)包括：测量光源(14)，用于向所述镜平面(11)发射测量光(28)；投射单元(17)，当所述测量光源(14)发射的测量光(28)从所述镜平面(11)反射时形成的反射光(13)投射在所述投射单元(17)上作为投射光点(50)；图像拾取单元(18)，用于拾取所述投射单元(17)的图像，所述反射光(13)投射在所述投射单元(17)上作为投射光点(50)；控制单元(31)，用于控制所述镜平面(11)的倾斜度；提取单元(32)，用于基于所述图像拾取单元(18)拾取的图像，从投射在所述投射单元(17)上的多个光点中提取作为测量对象的所述投射光点(50)；以及测量单元(33)，用于基于所述图像拾取单元(18)拾取的所述投射单元(17)的图像，测量在所述提取单元(32)中提取的所述投射光点(50)的移动量，所述投射光点(50)随着受所述控制单元(31)控制的所述镜平面(11)的倾斜度变化而移动。