楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法

摘要

本发明涉及一种楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法，该方法包括下述步骤：对N个基片的左侧面和右侧面进行研磨并抛光，使其左侧面平行于右侧面；将N片基片依次叠放并固定，研磨各基片的上、下表面使其垂直于侧面；将标准块置于基底的一端，楔形块置于基底上，且楔形块的左侧面与标准块的右侧面共面；将各基片依次叠放于楔形块上，然后将各基片粘接固定，得到阶梯结构。本发明能够有效提高阶梯表面粗糙度精度、纵向尺寸精度及重复性，工艺可控性强，重复性好，微反射镜表面粗糙度小，平面度高，可应用于可见及红外波段。

主权项

一种楔形块上基片有序排列制作微阶梯反射镜的方法，其特征在于包括下述步骤：(一)、选用N片可加工固体材料作为微阶梯反射镜的基片，并对其进行清洗；(二)、对各基片的左侧面(41)和右侧面(42)进行研磨并抛光，使其表面粗糙度达到0.1nm～1μm，左侧面(41)平行于右侧面(42)，并且各基片的厚度达到设定尺寸；然后对研磨后的各基片进行清洗处理；(三)、将N片研磨完成的基片依次叠放，使各基片的右侧面(42)与相邻基片的左侧面(41)共面接触，叠放后各基片的上表面(43)共面、下表面(44)共面；然后用固化胶将叠放后的各基片粘接固定在一起；(四)、将步骤(三)制作完成的基片置于研磨台上，研磨各基片的下表面(44)使其表面粗糙度达到0.1nm～1μm，并且各基片的下表面(44)垂直于其左侧面(41)和右侧面(42)；然后用去胶溶液去除固化胶，清洗各基片；(五)、选用可加工固体材料，将其研磨并抛光成楔形块(1)；所述楔形块(1)的下表面(12)为水平面，上表面(11)为斜面，左侧面(13)和右侧面(14)为垂直面，并且楔形块(1)的上表面(11)与右侧面(14)之间的夹角α小于90°；楔形块(1)的上表面(11)和下表面(12)的表面粗糙度达到0.1nm～1μm；清洗楔形块(1)；(六)、研磨并抛光一片长方体作为基底(2)，基底(2)的上表面(21)的表面粗糙度达到0.1nm～1μm；清洗基底(2)；(七)、研磨并抛光一块长方体作为固定在基底(2)上的标准块(3)；标准块(3)的右侧面(31)垂直于其下表面(32)，并且标准块(3)的右侧面(31)和下表面(32)的表面粗糙度达到0.1nm～1μm；清洗标准块(3)；(八)、将标准块(3)置于基底(2)的一端，标准块(3)的下表面(32)与基底(2)的上表面(21)共面；然后将标准块(3)与基底(2)粘接固定；(九)、将楔形块(1)置于基底(2)上，使楔形块(1)的左侧面(13)与标准块(3)的右侧面(31)共面，楔形块(1)的下表面(12)与基底(2)的上表面(21)共面；然后将楔形块(1)与基底(2)粘接固定；(十)、将各基片(4)依次放置于楔形块(1)上，并且使得第一片基片的左侧面(41)与标准块(3)的右侧面(31)共面，各基片(4)的右侧面(42)与相邻基片(4)的左侧面(41)共面，各基片(4)下表面(44)的棱边完全接触在楔形块(1)上；然后将各基片粘接固定，基片下表面构成阶梯结构；(十一)、将步骤(十)得到的阶梯结构的上表面沉积增反膜层和保护膜层。