| 摘要 |
(과제) 필름에 박막을 연속적으로 형성하는 스퍼터 장치에 있어서, 필름롤을 교환할 때에, 성막실을 대기 개방하지 않거나, 및 진공 펌프를 정지시키지 않는다. (해결 수단) 공급측 필름롤실 (11) 은, 공급측 진공 펌프 (17) 와 공급측 메인 밸브 (34) 를 구비한다. 수납측 필름롤실 (13) 은 수납측 진공 펌프 (28) 와 수납측 메인 밸브 (35) 를 구비한다. 공급측 필름롤실 (11) 과 성막실 (12) 사이에 공급측 로드 록 밸브 (30) 가 형성된다. 수납측 필름롤실 (13) 과 성막실 (12) 사이에 수납측 로드 록 밸브 (31) 가 형성된다. 공급측 필름롤 (36) 을 교환할 때에는, 공급측 메인 밸브 (34) 와 공급측 로드 록 밸브 (30) 를 닫는다. 수납측 필름롤 (37) 을 교환할 때에는, 수납측 메인 밸브 (35) 와 수납측 로드 록 밸브 (31) 를 닫는다. |
