| 摘要 |
(과제) 카세트에 수용된 복수매의 웨이퍼를 카세트마다 대차에 올려 운반할 때에 웨이퍼의 물리적 손상을 방지한다. (해결 수단) 웨이퍼 운반 대차(1)는, 수동 조작에 의해 주행 가능한 대차 본체(10)와, 대차 본체(10)의 상부에 설치되며, 카세트(5)의 탑재면을 구성하는 지지대(11)와, 지지대(11)의 각도를 조정하는 각도 조정 기구(12)를 구비하고 있다. 지지대(11)는, 웨이퍼(W)의 주면(主面)과 평행한 카세트(5)의 주면과 접하는 제1 천판부(天板部; 11a)와, 웨이퍼(W)의 주면과 직교하는 카세트(5)의 저면(底面)과 접하는 제1 천판부(11b)를 갖고 있다. 각도 조정 기구(12)는, 대차 본체(10)의 주행 방향에 대하여 90도의 방향에 있어서의 지지대(11)의 제1 천판부(11a)의 수평면에 대한 각도를 0도∼90도의 범위 내에서 고정할 수 있고, 웨이퍼 운반시에는, 지지대(11)의 제1 천판부(11a)의 경사 각도를 5도∼45도의 범위 내에서 고정한 상태에서 대차 본체(10)를 주행시킨다. |
