发明名称 一种混合添加剂及由其制得的线锯切割液
摘要 本发明公开了一种混合添加剂及由其制得的线锯切割液。本发明的线锯切割液具有很好的分散和再分散磨料的能力,确保了配置砂浆的稳定性和持久性,很好的冷却和润滑作用,降低了切片的表面损伤,机械应力,热应力及金属离子对晶片的污染,有效地改善晶片的厚度误差,采用更细的切割线,提高切割良率。
申请公布号 CN102344850A 申请公布日期 2012.02.08
申请号 CN201010246708.7 申请日期 2010.08.06
申请人 安集微电子(上海)有限公司 发明人 于昊;宫勇
分类号 C10M161/00(2006.01)I;C10M169/04(2006.01)I;C10M173/02(2006.01)I;C10N30/04(2006.01)N;C10N30/06(2006.01)N 主分类号 C10M161/00(2006.01)I
代理机构 上海翰鸿律师事务所 31246 代理人 李佳铭
主权项 一种用于线锯切割液的混合添加剂,含有:a)水              45~84wt%b)有机酸聚合物    8~30wt%c)有机碱          6~25wt%d)金属腐蚀抑制剂  0.1~2wt%e)表面活性剂      0.1~2wt%。
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