发明名称 |
一种混合添加剂及由其制得的线锯切割液 |
摘要 |
本发明公开了一种混合添加剂及由其制得的线锯切割液。本发明的线锯切割液具有很好的分散和再分散磨料的能力,确保了配置砂浆的稳定性和持久性,很好的冷却和润滑作用,降低了切片的表面损伤,机械应力,热应力及金属离子对晶片的污染,有效地改善晶片的厚度误差,采用更细的切割线,提高切割良率。 |
申请公布号 |
CN102344850A |
申请公布日期 |
2012.02.08 |
申请号 |
CN201010246708.7 |
申请日期 |
2010.08.06 |
申请人 |
安集微电子(上海)有限公司 |
发明人 |
于昊;宫勇 |
分类号 |
C10M161/00(2006.01)I;C10M169/04(2006.01)I;C10M173/02(2006.01)I;C10N30/04(2006.01)N;C10N30/06(2006.01)N |
主分类号 |
C10M161/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海翰鸿律师事务所 31246 |
代理人 |
李佳铭 |
主权项 |
一种用于线锯切割液的混合添加剂,含有:a)水 45~84wt%b)有机酸聚合物 8~30wt%c)有机碱 6~25wt%d)金属腐蚀抑制剂 0.1~2wt%e)表面活性剂 0.1~2wt%。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 |