发明名称 | 太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置,其包括三通管和排风管,三通管的第一支管与尾管相连,三通管的第二支管与排风管相连。本实用新型提供的太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置,在每次扩散工艺后通过向该装置三通管的主管中通入流速较高的反向气流,尾气随气流排出,从而起到疏通尾管,保证尾管通畅的作用,另外也防止了尾管管壁腐蚀。 | ||
申请公布号 | CN202142571U | 申请公布日期 | 2012.02.08 |
申请号 | CN201120241664.9 | 申请日期 | 2011.07.11 |
申请人 | 苏州矽美仕绿色新能源有限公司 | 发明人 | 沈少杰 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
主权项 | 一种太阳能电池硅片扩散用尾气排放装置,其特征在于:其包括三通管和排风管,所述三通管的第一支管与尾管相连,所述三通管的第二支管与所述排风管相连。 | ||
地址 | 215400 江苏省苏州市太仓市经济开发区半泾河西、苏州路南 |