发明名称 Fiber amplifier based light source for semiconductor inspection
摘要
申请公布号 EP2369695(A3) 申请公布日期 2012.02.08
申请号 EP20110001760 申请日期 2005.08.16
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 CHUANG, YUNG-HO;ARMSTRONG, J. JOSEPH
分类号 H01S3/23;G01N21/88;G01N21/95;H01S3/067 主分类号 H01S3/23
代理机构 代理人
主权项
地址