发明名称 | 光波导薄膜和光基片以及它们的制造方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种光波导薄膜和光基片以及它们的制造方法。光波导薄膜配备:具有粘接功能的包层和被该包层覆盖的芯层。 | ||
申请公布号 | CN101359068B | 申请公布日期 | 2012.02.08 |
申请号 | CN200810144282.7 | 申请日期 | 2008.07.30 |
申请人 | 日东电工株式会社 | 发明人 | 程野将行;长崎国夫;山口美穗;井口伸儿 |
分类号 | G02B6/122(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/122(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 张鑫 |
主权项 | 一种光波导薄膜,其特征在于,配备:具有粘接功能的包层和被所述包层覆盖的芯层,其中,在合层压400千巴、温度130℃装贴到硅片时,以剥离速度50毫米/分对硅片表面90度的方向剥离时的阻力,为0.1牛顿/20毫米以上。 | ||
地址 | 日本大阪府 |