基板制造方法

摘要

在透明基体上形成选择性地设置了到达该透明基体的沟的感光性透明树脂膜，在沟内设置实质上具有与感光性透明树脂膜的表面相同的表面的布线部。在将布线部覆盖在沟内之前，通过对感光性透明树脂膜表面或者沟的底面实施处理，可以迅速形成布线部，同时可以容易地控制布线部的厚度。

主权项

一种基板的制造方法，包括：在透明基体表面上形成透明树脂膜的工艺；选择性地除去所述透明树脂膜表面而形成到达所述透明基体的沟的工艺；以及在所述沟内形成到达所述透明基体表面的布线部的工艺，在形成所述布线部的工艺中，形成所述布线部，以使所述布线部的表面和所述透明树脂膜表面实际上成为相同的平面，由此得到埋设了所述布线部的基板，还包括：预处理工艺，在形成所述布线部的工艺之前对所述透明树脂膜的表面进行处理，在所述预处理工艺中，在所述透明树脂膜表面形成布线形成辅助层，辅助用于形成所述布线部的材料形成在沟内。